一种用于液相外延生长工艺的夹具

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202420941422.8

申请日：

2024-04-30

公开(公告)号：

CN222499461U

公开(公告)日：

2025-02-18

发明(设计)人：

陈腾波张榕贵李来超高浩然雷云

申请人：

森一量子科技（厦门）有限公司

申请人地址：

361000 福建省厦门市集美区天阳路9号一楼

IPC主分类号：

C30B19/06

IPC分类号：

C30B29/28

代理机构：

厦门市新华专利商标代理有限公司 35203

代理人：

谢玲玲

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-02-18	授权	授权

共 50 条

[1]

一种用于液相外延生长晶圆的衬底夹具 [P].

陈腾波 ;

张榕贵 ;

李来超 ;

高浩然 ;

雷云 .

中国专利 :CN222499460U ,2025-02-18

[2]

一种液相外延生长工装 [P].

许军 ;

张傲 ;

许佳康 .

中国专利 :CN119710902A ,2025-03-28

[3]

液相外延生长薄膜的衬底夹具 [P].

赵广军 ;

何晓明 ;

徐军 ;

王海丽 ;

刘军芳 .

中国专利 :CN2594282Y ,2003-12-24

[4]

一种用于液相外延生长的衬底夹具 [P].

胡露 ;

侯田江 ;

马晓 ;

赵文琪 .

中国专利 :CN223561755U ,2025-11-18

[5]

液相外延生长薄膜的衬底夹具 [P].

赵广军 ;

何晓明 ;

徐军 ;

王海丽 ;

刘军芳 .

中国专利 :CN1207449C ,2003-06-18

[6]

一种用于液相外延生长的石墨舟及液相外延生长方法 [P].

田震 ;

周立庆 ;

马建立 ;

胡尚正 .

中国专利 :CN102995115B ,2013-03-27

[7]

外延生长工艺 [P].

李睿 ;

曹志伟 ;

张召 ;

余文达 ;

尹佳玲 ;

刘悦 ;

范永胜 ;

蔡靖凯 ;

吴成志 .

中国专利 :CN121148987A ,2025-12-16

[8]

一种用于垂直液相外延生长的样品架 [P].

许军 ;

许佳康 ;

毛成状 ;

赵倩 .

中国专利 :CN222795785U ,2025-04-25

[9]

外延生长工艺方法 [P].

李伟峰 .

中国专利 :CN104766789A ,2015-07-08

[10]

一种用于水平液相外延生长的石墨舟 [P].

罗才旺 ;

陈峰武 ;

魏唯 .

中国专利 :CN107779948A ,2018-03-09

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