半导体工艺设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202420140301.3

申请日：

2024-01-19

公开(公告)号：

CN222349120U

公开(公告)日：

2025-01-14

发明(设计)人：

段文旭卢翌

申请人：

北京北方华创微电子装备有限公司

申请人地址：

100176 北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道8号

IPC主分类号：

C23C16/455

IPC分类号：

C23C16/458

代理机构：

北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112

代理人：

彭瑞欣;王婷

法律状态：

授权

国省代码：

安徽省宣城市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-01-14	授权	授权

共 50 条

[1]

半导体工艺设备 [P].

杨钦淞 ;

郭雪娇 .

中国专利 :CN217009130U ,2022-07-19

[2]

半导体工艺设备 [P].

成佳东 .

中国专利 :CN118854257A ,2024-10-29

[3]

半导体工艺设备 [P].

刘胜明 ;

郑波 ;

荣延栋 .

中国专利 :CN214753667U ,2021-11-16

[4]

半导体工艺设备 [P].

任晓艳 ;

王勇飞 ;

史小平 ;

郑波 ;

兰云峰 ;

秦海丰 ;

张文强 ;

王昊 .

中国专利 :CN112593208B ,2021-04-02

[5]

半导体工艺设备的进气装置及半导体工艺设备 [P].

伊藤正雄 ;

林源为 .

中国专利 :CN115074701A ,2022-09-20

[6]

半导体工艺设备的进气装置及半导体工艺设备 [P].

夏振军 .

中国专利 :CN213146096U ,2021-05-07

[7]

半导体工艺设备的进气装置及半导体工艺设备 [P].

赵庆峰 ;

王晓飞 .

中国专利 :CN112359343B ,2021-02-12

[8]

半导体工艺设备 [P].

黄启铭 .

中国专利 :CN209039582U ,2019-06-28

[9]

半导体工艺设备 [P].

张铭 .

中国专利 :CN215496660U ,2022-01-11

[10]

半导体工艺设备 [P].

胡天保 ;

曹兴龙 .

中国专利 :CN213781997U ,2021-07-23

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