氮化物半导体装置以及氮化物半导体装置的制造方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202280097195.9
申请日
2022-06-29
公开(公告)号
CN119404609A
公开(公告)日
2025-02-07
发明(设计)人
泷口雄贵 西村邦彦 吹田宗义 山田高宽
申请人
三菱电机株式会社
申请人地址
日本
IPC主分类号
H10D30/47
IPC分类号
H10D30/87 H10D30/01
代理机构
中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038
代理人
刘蓉
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
氮化物半导体装置、氮化物半导体衬底以及氮化物半导体装置的制造方法 [P]. 
出来真斗 ;
陆顺 ;
天野浩 ;
本田善央 ;
田中敦之 ;
伊藤佑太 .
日本专利 :CN117716509A ,2024-03-15
[2]
氮化物半导体、半导体装置以及氮化物半导体的制造方法 [P]. 
彦坂年辉 ;
名古肇 ;
田岛纯平 ;
布上真也 .
日本专利 :CN115706142B ,2025-12-23
[3]
氮化物半导体、半导体装置以及氮化物半导体的制造方法 [P]. 
彦坂年辉 ;
名古肇 ;
田岛纯平 ;
布上真也 .
中国专利 :CN115706142A ,2023-02-17
[4]
氮化物半导体、半导体装置以及氮化物半导体的制造方法 [P]. 
彦坂年辉 ;
名古肇 ;
田岛纯平 ;
布上真也 .
日本专利 :CN115706143B ,2025-10-17
[5]
氮化物半导体、半导体装置以及氮化物半导体的制造方法 [P]. 
彦坂年辉 ;
名古肇 ;
田岛纯平 ;
布上真也 .
中国专利 :CN115706143A ,2023-02-17
[6]
氮化物半导体装置以及制造氮化物半导体装置的方法 [P]. 
富田英干 ;
上田博之 ;
森朋彦 .
中国专利 :CN109638076A ,2019-04-16
[7]
氮化物半导体装置的制造方法以及氮化物半导体装置 [P]. 
佐藤宪 .
日本专利 :CN120730789A ,2025-09-30
[8]
氮化物半导体装置以及氮化物半导体装置的制造方法 [P]. 
高山大希 .
日本专利 :CN120980908A ,2025-11-18
[9]
氮化物半导体器件、氮化物半导体晶片以及用于制造氮化物半导体层的方法 [P]. 
盐田伦也 ;
洪洪 ;
黄钟日 ;
佐藤泰辅 ;
杉山直治 ;
布上真也 .
中国专利 :CN102790147B ,2012-11-21
[10]
氮化物半导体装置及氮化物半导体装置的制造方法 [P]. 
畑洋辅 .
日本专利 :CN119521707A ,2025-02-25