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清洗装置及清洗方法、晶圆减薄设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202311000916.2
申请日：
2023-08-09
公开(公告)号：
CN119489060A
公开(公告)日：
2025-02-21
发明(设计)人：
邹睿
张栋梁
李素龙
申请人：
武汉楚兴技术有限公司
申请人地址：
430040 湖北省武汉市东西湖区径河街网安大道7号
IPC主分类号：
B08B3/02
IPC分类号：
B08B3/10
B08B1/14
B08B1/20
B08B1/52
H01L21/02
H01L21/304
代理机构：
北京中博世达专利商标代理有限公司 11274
代理人：
申健
法律状态：
公开
国省代码：
湖北省
武汉市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-02-21 | 公开 | 公开 |
| 2025-03-11 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):B08B 3/02申请日:20230809 |