一种清洗装置及晶圆减薄设备

被引：0

申请号：

CN202222173008.0

申请日：

2022-08-18

公开(公告)号：

CN218039115U

公开(公告)日：

2022-12-13

发明(设计)人：

万先进单保淋李文超边逸军

申请人：

申请人地址：

315400 浙江省宁波市余姚市经济开发区城东新区冶山路

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

B08B104 B08B100 B08B1300 B28D500

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

袁微微

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-12-13	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆清洗装置及晶圆减薄设备 [P].

万先进 ;

单保淋 ;

王冬冬 ;

田鑫 ;

朱松 ;

张怀东 ;

边逸军 .

中国专利 :CN220672529U ,2024-03-26

[2]

晶圆清洗装置、清洗方法及晶圆减薄设备 [P].

许刚 ;

靳凯强 ;

慈荣广 ;

刘远航 ;

赵德文 .

中国专利 :CN119340200A ,2025-01-21

[3]

晶圆清洗装置、清洗方法及晶圆减薄设备 [P].

许刚 ;

靳凯强 ;

慈荣广 ;

刘远航 ;

赵德文 .

中国专利 :CN119340200B ,2025-04-15

[4]

清洗装置及清洗方法、晶圆减薄设备 [P].

邹睿 ;

张栋梁 ;

李素龙 .

中国专利 :CN119489060A ,2025-02-21

[5]

晶圆背面减薄方法及晶圆背面减薄装置 [P].

苏亚青 ;

张守龙 ;

季芝慧 ;

谭秀文 ;

叶斐 ;

陈裕 .

中国专利 :CN112349579A ,2021-02-09

[6]

晶圆清洗装置及包括其的晶圆减薄设备 [P].

路新春 ;

陈铁 ;

刘远航 ;

王华良 .

中国专利 :CN121192013A ,2025-12-23

[7]

晶圆清洗装置及包括其的晶圆减薄设备 [P].

路新春 ;

陈铁 ;

刘远航 ;

王华良 .

中国专利 :CN119419116A ,2025-02-11

[8]

晶圆清洗装置及包括其的晶圆减薄设备 [P].

路新春 ;

陈铁 ;

刘远航 ;

王华良 .

中国专利 :CN119419116B ,2025-08-19

[9]

晶圆减薄设备和减薄方法 [P].

张力飞 ;

路新春 ;

邢一 ;

赵德文 .

中国专利 :CN121004510A ,2025-11-25

[10]

晶圆减薄设备和减薄方法 [P].

张力飞 ;

路新春 ;

谢昊男 .

中国专利 :CN121004512A ,2025-11-25

← 1 2 3 4 5 →