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化合物半导体基板
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201980086082.7
申请日：
2019-12-10
公开(公告)号：
CN113227467B
公开(公告)日：
2025-02-21
发明(设计)人：
大内澄人
铃木悠宜
生川满久
川村启介
申请人：
爱沃特株式会社
申请人地址：
日本国大阪府
IPC主分类号：
C30B29/38
IPC分类号：
C23C16/34
C30B25/18
H01L21/205
代理机构：
中科专利商标代理有限责任公司 11021
代理人：
吴克鹏
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-02-21 | 授权 | 授权 |