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一种晶圆切割道检测装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202411721466.0
申请日：
2024-11-28
公开(公告)号：
CN119208227B
公开(公告)日：
2025-02-28
发明(设计)人：
魏余红
黄燕荣
申请人：
广东科卓半导体设备有限公司
申请人地址：
523000 广东省东莞市南城街道黄金路1号天安数码城6栋7单元201室
IPC主分类号：
H01L21/677
IPC分类号：
H01L21/66
代理机构：
广东灵顿知识产权代理事务所(普通合伙) 44558
代理人：
梁欢
法律状态：
公开
国省代码：
河北省
唐山市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-12-27 | 公开 | 公开 |
| 2025-02-28 | 授权 | 授权 |
| 2025-01-14 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/677申请日:20241128 |