一种晶圆切割切口检测装置

被引：0

申请号：

CN202122453090.8

申请日：

2021-10-15

公开(公告)号：

CN216413013U

公开(公告)日：

2022-04-29

发明(设计)人：

殷泽安殷泽华

申请人：

申请人地址：

215000 江苏省苏州市相城区黄埭镇春旺路12号

IPC主分类号：

H01L2166

IPC分类号：

H01L21677

代理机构：

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法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-04-29	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆切割切口检测装置 [P].

刘思佳 .

中国专利 :CN204332913U ,2015-05-13

[2]

一种晶圆切割切口检测装置 [P].

刘思佳 .

中国专利 :CN104538326A ,2015-04-22

[3]

一种晶圆切割切口检测装置 [P].

陆孙华 .

中国专利 :CN211179565U ,2020-08-04

[4]

一种晶圆切割切口检测设备 [P].

刘思佳 .

中国专利 :CN204330613U ,2015-05-13

[5]

晶圆切割装置 [P].

万先进 ;

肖儒良 ;

朱松 ;

谢亚楠 ;

陈浩 ;

锁志勇 ;

边逸军 .

中国专利 :CN223630648U ,2025-12-05

[6]

一种激光切割切断检测装置 [P].

刘海清 ;

马晓彩 ;

侯长明 ;

李宁 .

中国专利 :CN209632331U ,2019-11-15

[7]

一种晶圆加工定位切割装置 [P].

唐红梅 ;

张晓勇 ;

王毅 .

中国专利 :CN223589763U ,2025-11-25

[8]

一种GaN基晶圆切割装置 [P].

闫怀宝 ;

邵春林 .

中国专利 :CN217122133U ,2022-08-05

[9]

一种晶圆加工定位切割装置 [P].

殷泽安 ;

殷志鹏 .

中国专利 :CN117621284A ,2024-03-01

[10]

一种晶圆切割装置 [P].

李东兴 ;

郝咏康 ;

王克江 ;

李长城 ;

孙越 .

中国专利 :CN220548494U ,2024-03-01

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