一种晶圆切割切口检测设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201420799832.X

申请日：

2014-12-16

公开(公告)号：

CN204330613U

公开(公告)日：

2015-05-13

发明(设计)人：

刘思佳

申请人：

申请人地址：

215000 江苏省苏州市高新区珠江路525号

IPC主分类号：

G01N2188

IPC分类号：

代理机构：

南京纵横知识产权代理有限公司 32224

代理人：

董建林

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-02-08	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101702118722 IPC(主分类):G01N 21/88 专利号:ZL201420799832X 申请日:20141216 授权公告日:20150513 终止日期:20151216
2015-05-13	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆切割切口检测设备 [P].

刘思佳 .

中国专利 :CN104568962A ,2015-04-29

[2]

一种晶圆切割切口检测装置 [P].

刘思佳 .

中国专利 :CN204332913U ,2015-05-13

[3]

一种晶圆切割切口检测装置 [P].

刘思佳 .

中国专利 :CN104538326A ,2015-04-22

[4]

一种晶圆切割切口检测装置 [P].

陆孙华 .

中国专利 :CN211179565U ,2020-08-04

[5]

一种晶圆切割切口检测装置 [P].

殷泽安 ;

殷泽华 .

中国专利 :CN216413013U ,2022-04-29

[6]

一种晶圆切割用切口定位机构 [P].

秦可勇 ;

何彬 .

中国专利 :CN213704060U ,2021-07-16

[7]

一种晶圆检测设备 [P].

吴坤 ;

王志铭 .

中国专利 :CN221078431U ,2024-06-04

[8]

一种晶圆检测设备 [P].

朱志飞 ;

舒文宾 ;

杨慎东 ;

郭连俊 .

中国专利 :CN208908214U ,2019-05-28

[9]

一种晶圆检测设备 [P].

王晓东 ;

许平康 ;

刘命江 .

中国专利 :CN208921641U ,2019-05-31

[10]

一种晶圆检测设备 [P].

张亚男 .

中国专利 :CN223230306U ,2025-08-15

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