一种晶圆切割切口检测装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410782043.X

申请日：

2014-12-16

公开(公告)号：

CN104538326A

公开(公告)日：

2015-04-22

发明(设计)人：

刘思佳

申请人：

申请人地址：

215000 江苏省苏州市高新区珠江路525号

IPC主分类号：

H01L2166

IPC分类号：

代理机构：

南京纵横知识产权代理有限公司 32224

代理人：

董建林

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-11-07	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L 21/66 申请公布日:20150422
2015-05-20	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101609907551 IPC(主分类):H01L 21/66 专利申请号:201410782043X 申请日:20141216
2015-04-22	公开	公开

共 50 条

[1]

一种晶圆切割切口检测装置 [P].

刘思佳 .

中国专利 :CN204332913U ,2015-05-13

[2]

一种晶圆切割切口检测装置 [P].

殷泽安 ;

殷泽华 .

中国专利 :CN216413013U ,2022-04-29

[3]

一种晶圆切割切口检测装置 [P].

陆孙华 .

中国专利 :CN211179565U ,2020-08-04

[4]

一种晶圆切割切口检测设备 [P].

刘思佳 .

中国专利 :CN204330613U ,2015-05-13

[5]

一种晶圆切割切口检测设备 [P].

刘思佳 .

中国专利 :CN104568962A ,2015-04-29

[6]

一种激光切割切断检测装置 [P].

刘海清 ;

马晓彩 ;

侯长明 ;

李宁 .

中国专利 :CN209632331U ,2019-11-15

[7]

一种晶圆切割道检测装置 [P].

魏余红 ;

黄燕荣 .

中国专利 :CN119208227A ,2024-12-27

[8]

一种晶圆切割道检测装置 [P].

魏余红 ;

黄燕荣 .

中国专利 :CN119208227B ,2025-02-28

[9]

一种晶圆表面切割划痕检测装置 [P].

李辉权 ;

吴楷浚 .

中国专利 :CN117783146A ,2024-03-29

[10]

晶圆切割平面检测装置及方法、晶圆切割装置及方法 [P].

彭杨 ;

陈帮 .

中国专利 :CN115966491B ,2025-02-07

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