一种高附着类金刚石薄膜镀膜方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510119804.1

申请日：

2025-01-25

公开(公告)号：

CN119553225A

公开(公告)日：

2025-03-04

发明(设计)人：

金烈佘自力

申请人：

深圳市锦瑞新材料股份有限公司

申请人地址：

518000 广东省深圳市光明区公明街道下村社区第二工业区13号201整片

IPC主分类号：

C23C14/06

IPC分类号：

C23C14/35 C23C14/16 C23C14/32 C23C16/26 C23C16/513 C23C28/00

代理机构：

深圳市海顺达知识产权代理有限公司 44831

代理人：

蔡星

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

广东省深圳市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-12-12	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回IPC(主分类):C23C 14/06申请公布日:20250304
2025-03-21	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/06申请日:20250125
2025-03-04	公开	公开

共 50 条

[1]

类金刚石薄膜镀膜方法 [P].

颜士杰 .

中国专利 :CN1796592A ,2006-07-05

[2]

一种高硬度类金刚石薄膜镀膜方法 [P].

金烈 ;

佘自力 .

中国专利 :CN120556030A ,2025-08-29

[3]

制备金刚石和类金刚石薄膜的方法 [P].

马志斌 ;

汪建华 .

中国专利 :CN1410590A ,2003-04-16

[4]

类金刚石薄膜 [P].

田梦军 .

中国专利 :CN107287571A ,2017-10-24

[5]

一种类金刚石薄膜真空镀膜装置 [P].

张之荣 ;

杨续来 .

中国专利 :CN118957523A ,2024-11-15

[6]

一种类金刚石薄膜真空镀膜装置 [P].

张之荣 ;

杨续来 .

中国专利 :CN118957523B ,2025-02-21

[7]

类金刚石薄膜制备方法 [P].

庄严 .

中国专利 :CN101319324A ,2008-12-10

[8]

一种类金刚石镀膜方法 [P].

王三胜 .

中国专利 :CN108330443A ,2018-07-27

[9]

一种碳基类金刚石薄膜制备用镀膜装置 [P].

陆樟栋 .

中国专利 :CN117626180A ,2024-03-01

[10]

沉积类金刚石薄膜的镀膜机 [P].

楼祺洪 ;

黄峰 ;

李铁军 ;

董景星 ;

魏运荣 .

中国专利 :CN2408126Y ,2000-11-29

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