一种半导体尾气处理设备用进气组件

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202421293047.7

申请日：

2024-06-06

公开(公告)号：

CN222518160U

公开(公告)日：

2025-02-25

发明(设计)人：

崔汉宽陈刚

申请人：

上海高笙集成电路设备有限公司

申请人地址：

200000 上海市浦东新区康桥路957号12幢3层

IPC主分类号：

B01D51/10

IPC分类号：

B01D53/18

代理机构：

青岛鼎丞智佳知识产权代理事务所(普通合伙) 37277

代理人：

王敬花

法律状态：

授权

国省代码：

上海市市辖区

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-02-25	授权	授权

共 50 条

[1]

一种进气装置及半导体工艺处理设备 [P].

李福华 ;

董博宇 ;

袁福顺 ;

杨牧龙 ;

王磊磊 ;

顾世海 ;

曲洋 ;

李轩 ;

赵东华 ;

孙中岳 .

中国专利 :CN117845192A ,2024-04-09

[2]

一种半导体设备用进气装置及半导体设备 [P].

翟硕彦 .

中国专利 :CN223318181U ,2025-09-09

[3]

一种半导体工艺设备的尾气处理设备 [P].

崔汉博 ;

杜全成 .

中国专利 :CN223610137U ,2025-11-28

[4]

一种进气装置及半导体处理设备 [P].

兰立广 .

中国专利 :CN117448954A ,2024-01-26

[5]

尾气处理设备用防堵塞进气装置 [P].

刘小虎 ;

王洪义 .

中国专利 :CN222186957U ,2024-12-17

[6]

一种冷却净化管段及半导体尾气处理设备 [P].

崔汉博 ;

崔汉宽 ;

陈刚 ;

王占杰 .

中国专利 :CN221593260U ,2024-08-23

[7]

一种半导体生产设备进气处理系统 [P].

张蓬成 .

中国专利 :CN218011621U ,2022-12-13

[8]

一种电加热水洗式半导体尾气处理设备 [P].

崔汉博 ;

崔汉宽 ;

陈刚 .

中国专利 :CN118001914A ,2024-05-10

[9]

一种进气组件、进气结构及半导体工艺设备 [P].

梁永军 .

中国专利 :CN220788742U ,2024-04-16

[10]

匀流组件、进气装置及半导体设备 [P].

兰立广 .

中国专利 :CN117438277A ,2024-01-23

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