共 50 条
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基板を処理する方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20240189126
申请日：
2024-10-28
公开(公告)号：
JP2025028052A
公开(公告)日：
2025-02-28
发明(设计)人：
RAJARAM NARAYANAN
RUAN FANG
PRASHANT KUMAR KULSHRESHTHA
DIWAKAR N KEDLAYA
JANAKIRAMAN KARTHIK
申请人：
APPLIED MATERIALS INC
申请人地址：
IPC主分类号：
H01L21/314
IPC分类号：
H01L21/31
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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