一种晶圆切膜机构

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202323535150.6

申请日：

2023-12-25

公开(公告)号：

CN222628240U

公开(公告)日：

2025-03-18

发明(设计)人：

顾鑫郑俭高华孙倩

申请人：

无锡沃格自动化科技股份有限公司

申请人地址：

214000 江苏省无锡市菱湖大道200号中国传感网国际创新园B栋222

IPC主分类号：

B28D1/22

IPC分类号：

B28D7/00 B28D7/04

代理机构：

无锡三合知识产权代理事务所(普通合伙) 32602

代理人：

徐鹏飞;赵庆华

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省无锡市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-03-18	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆压膜机切膜机构 [P].

王蜀豫 .

中国专利 :CN117754160A ,2024-03-26

[2]

晶圆裂片移膜、切膜机构 [P].

闫兴 ;

陶为银 ;

巩铁建 ;

蔡正道 ;

乔赛赛 ;

张伟 ;

鲍占林 ;

王鹏 ;

杜磊 .

中国专利 :CN114512424A ,2022-05-17

[3]

晶圆压膜机切膜机构 [P].

赖金森 .

中国专利 :CN102189736A ,2011-09-21

[4]

晶圆裂片移膜、切膜机构 [P].

闫兴 ;

陶为银 ;

巩铁建 ;

蔡正道 ;

乔赛赛 ;

张伟 ;

鲍占林 ;

王鹏 ;

杜磊 .

中国专利 :CN114512424B ,2024-10-11

[5]

晶圆裂片移膜、切膜、贴膜机构 [P].

闫兴 ;

陶为银 ;

巩铁建 ;

蔡正道 ;

乔赛赛 ;

张伟 ;

鲍占林 ;

王鹏 ;

杜磊 .

中国专利 :CN114512425A ,2022-05-17

[6]

晶圆裂片移膜、切膜、贴膜机构 [P].

闫兴 ;

陶为银 ;

巩铁建 ;

蔡正道 ;

乔赛赛 ;

张伟 ;

鲍占林 ;

王鹏 ;

杜磊 .

中国专利 :CN114512425B ,2024-10-11

[7]

一种晶圆UV膜切膜装置 [P].

高军鹏 ;

陈涛 ;

朱远福 .

中国专利 :CN223519808U ,2025-11-07

[8]

晶圆贴膜切膜设备 [P].

张景南 ;

陈明展 ;

程翔 .

中国专利 :CN220517007U ,2024-02-23

[9]

一种晶圆贴膜机构 [P].

袁野 ;

李祎 ;

姚静毅 ;

李景瑜 .

中国专利 :CN223230326U ,2025-08-15

[10]

晶圆贴膜后圆切装置 [P].

孙太恒 .

中国专利 :CN223643837U ,2025-12-09

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