一种掺氟金属氧化物薄膜及其制备方法与应用

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411738997.0

申请日：

2024-11-29

公开(公告)号：

CN119615109A

公开(公告)日：

2025-03-14

发明(设计)人：

林豪崔志洋高平奇

申请人：

中山大学

申请人地址：

510275 广东省广州市海珠区新港西路135号

IPC主分类号：

C23C16/40

IPC分类号：

C23C16/448 C23C16/52

代理机构：

广州三环专利商标代理有限公司 44202

代理人：

胡静

法律状态：

公开

国省代码：

广东省广州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-03-14	公开	公开
2025-04-01	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23C 16/40申请日:20241129

共 50 条

[1]

一种多元金属氧化物薄膜及其制备方法与应用 [P].

刘德宇 ;

况永波 ;

修浩 ;

安娜 ;

周扬 .

中国专利 :CN114272936A ,2022-04-05

[2]

一种金属氧化物半导体薄膜及其制备方法与应用 [P].

平山秀雄 ;

邱勇 ;

施露 ;

张洁 ;

黄秀颀 .

中国专利 :CN103065972B ,2013-04-24

[3]

一种氧化钒/过渡金属氧化物复合薄膜及其制备方法与应用 [P].

李华 ;

李雯钦 ;

梁健 ;

廖军 .

中国专利 :CN121134833A ,2025-12-16

[4]

金属氧化物薄膜的制备方法 [P].

李言荣 ;

陶伯万 ;

陈寅 ;

刘兴钊 ;

朱俊 ;

吴传贵 ;

吴健 .

中国专利 :CN100469940C ,2006-03-01

[5]

一种金属氧化物薄膜的制备方法及金属氧化物薄膜 [P].

杨振怀 ;

郭远军 ;

卫红 ;

胡琅 ;

胡强 ;

肖永能 ;

刘宏 ;

郭可升 .

中国专利 :CN114561617A ,2022-05-31

[6]

一种P型金属氧化物薄膜的制备方法 [P].

赵铭杰 ;

李海城 .

中国专利 :CN118460959A ,2024-08-09

[7]

一种双金属氧化物薄膜制备方法及双金属氧化物薄膜 [P].

明帅强 ;

戴昕童 ;

夏洋 ;

屈芙蓉 ;

何萌 ;

赵丽莉 ;

吴非 ;

夏天 .

中国专利 :CN120924941A ,2025-11-11

[8]

金属氧化物浆料、孔径可控的金属氧化物薄膜及其制备方法和应用 [P].

杨松旺 ;

邵君 ;

刘岩 .

中国专利 :CN108806829A ,2018-11-13

[9]

金属氧化物薄膜、其制备方法和应用 [P].

李亮 ;

李颖 .

中国专利 :CN115483094A ,2022-12-16

[10]

原位氟掺杂的金属氧化物薄膜及其制备方法和薄膜晶体管 [P].

陈荣盛 ;

尹雪梅 ;

钟伟 ;

李国元 ;

邓孙斌 ;

郭海成 .

中国专利 :CN113223968A ,2021-08-06

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