用于等离子体处理室的基于金属氧化物变阻器(MOV)的浪涌保护电路

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202380050360.X

申请日：

2023-05-31

公开(公告)号：

CN119585836A

公开(公告)日：

2025-03-07

发明(设计)人：

阿里·弗罗坦保尔托马斯·李·弗雷德里克

申请人：

朗姆研究公司

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

H01J37/32

IPC分类号：

代理机构：

上海胜康律师事务所 31263

代理人：

李献忠;童礼翎

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-03-25	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01J 37/32申请日:20230531
2025-03-07	公开	公开

共 50 条

[1]

单晶金属氧化物等离子体室部件 [P].

许临 ;

道格拉斯·德特尔特 ;

约翰·多尔蒂 ;

潘卡基·哈扎里卡 ;

萨蒂什·斯里尼瓦桑 ;

纳什·W·安德森 ;

约翰·迈克尔·克恩斯 ;

罗宾·科什伊 ;

大卫·约瑟夫·韦策尔 ;

刘磊 ;

埃里克·A·派普 .

中国专利 :CN114631167A ,2022-06-14

[2]

热保护的金属氧化物变阻器 [P].

宋东健 ;

陆利兵 .

中国专利 :CN110859051A ,2020-03-03

[3]

用于锂离子电池的锂过渡金属氧化物的等离子体处理 [P].

R·K·霍尔曼 ;

K·哈迪迪 ;

G·弗罗贝尔 .

中国专利 :CN113423497A ,2021-09-21

[4]

热金属氧化物变阻器电路保护设备 [P].

W·杨 ;

H·唐 ;

H·刘 .

中国专利 :CN103620703A ,2014-03-05

[5]

用于等离子体辅助蚀刻金属氧化物的方法 [P].

杨建勋 ;

杨建伦 ;

张克正 .

中国专利 :CN113764270A ,2021-12-07

[6]

热金属氧化物变阻器电路保护装置 [P].

杨文 ;

唐海浪 ;

俞东 .

中国专利 :CN108701570A ,2018-10-23

[7]

浪涌保护装置内的金属氧化物变阻器故障的检测方法 [P].

L·法科尔 ;

M·格拉克 .

美国专利 :CN118275803A ,2024-07-02

[8]

浪涌保护装置内的金属氧化物变阻器故障的检测方法 [P].

L·法科尔 ;

M·格拉克 .

中国专利 :CN105699800A ,2016-06-22

[9]

用于清洗表面有机物和金属氧化物的等离子体处理装置 [P].

夏乾旭 ;

郑连敏 ;

杜应超 ;

王翼安 ;

吕鹏 ;

王志远 .

中国专利 :CN118847622A ,2024-10-29

[10]

等离子体合成金属氧化物纳米颗粒 [P].

张璐 .

中国专利 :CN1607181A ,2005-04-20

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