用于清洗表面有机物和金属氧化物的等离子体处理装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410878399.7

申请日：

2024-07-02

公开(公告)号：

CN118847622A

公开(公告)日：

2024-10-29

发明(设计)人：

夏乾旭郑连敏杜应超王翼安吕鹏王志远

申请人：

清华大学

申请人地址：

100084 北京市海淀区清华园

IPC主分类号：

B08B7/00

IPC分类号：

B08B3/12 B08B13/00

代理机构：

北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201

代理人：

廉世坤

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

北京市市辖区

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-11-15	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):B08B 7/00申请日:20240702
2024-10-29	公开	公开

共 50 条

[1]

单晶金属氧化物等离子体室部件 [P].

许临 ;

道格拉斯·德特尔特 ;

约翰·多尔蒂 ;

潘卡基·哈扎里卡 ;

萨蒂什·斯里尼瓦桑 ;

纳什·W·安德森 ;

约翰·迈克尔·克恩斯 ;

罗宾·科什伊 ;

大卫·约瑟夫·韦策尔 ;

刘磊 ;

埃里克·A·派普 .

中国专利 :CN114631167A ,2022-06-14

[2]

用于锂离子电池的锂过渡金属氧化物的等离子体处理 [P].

R·K·霍尔曼 ;

K·哈迪迪 ;

G·弗罗贝尔 .

中国专利 :CN113423497A ,2021-09-21

[3]

用于等离子体辅助蚀刻金属氧化物的方法 [P].

杨建勋 ;

杨建伦 ;

张克正 .

中国专利 :CN113764270A ,2021-12-07

[4]

等离子体处理金属有机框架制备高效金属氧化物催化剂的方法 [P].

刘璐 ;

邵广才 ;

郑亚丽 ;

糜建立 .

中国专利 :CN114832824A ,2022-08-02

[5]

等离子体合成金属氧化物纳米颗粒 [P].

张璐 .

中国专利 :CN1607181A ,2005-04-20

[6]

氧化物半导体膜的蚀刻方法和等离子体处理装置 [P].

山﨑政宏 ;

田原慈 .

中国专利 :CN113206016A ,2021-08-03

[7]

一种土壤有机物等离子体处理装置的管道结构 [P].

张典雅 ;

许梦雅 ;

李剑波 ;

邓呈逊 ;

俞志敏 .

中国专利 :CN210814615U ,2020-06-23

[8]

金属氧化物纳米粒子的等离子体合成 [P].

张璐 .

中国专利 :CN1621352A ,2005-06-01

[9]

使用清洁等离子体移除金属氧化物的方法 [P].

杨宗翰 ;

岳诗雨 ;

汪荣军 .

美国专利 :CN120153458A ,2025-06-13

[10]

用于等离子体处理室的基于金属氧化物变阻器(MOV)的浪涌保护电路 [P].

阿里·弗罗坦保尔 ;

托马斯·李·弗雷德里克 .

美国专利 :CN119585836A ,2025-03-07

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