单晶金属氧化物等离子体室部件

被引：0

申请号：

CN202080076017.9

申请日：

2020-10-21

公开(公告)号：

CN114631167A

公开(公告)日：

2022-06-14

发明(设计)人：

许临道格拉斯·德特尔特约翰·多尔蒂潘卡基·哈扎里卡萨蒂什·斯里尼瓦桑纳什·W·安德森约翰·迈克尔·克恩斯罗宾·科什伊大卫·约瑟夫·韦策尔刘磊埃里克·A·派普

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

H01J3732

IPC分类号：

代理机构：

上海胜康律师事务所 31263

代理人：

李献忠;张华

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-07-01	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 37/32 申请日:20201021
2022-06-14	公开	公开

共 50 条

[1]

等离子体合成金属氧化物纳米颗粒 [P].

张璐 .

中国专利 :CN1607181A ,2005-04-20

[2]

耐等离子体的钇铝氧化物体 [P].

L·沃克尔 ;

S·比斯塔 ;

M·J·多隆 ;

S·R·肯尼迪 .

中国专利 :CN114746377A ,2022-07-12

[3]

用于等离子体辅助蚀刻金属氧化物的方法 [P].

杨建勋 ;

杨建伦 ;

张克正 .

中国专利 :CN113764270A ,2021-12-07

[4]

金属氧化物纳米粒子的等离子体合成 [P].

张璐 .

中国专利 :CN1621352A ,2005-06-01

[5]

使用清洁等离子体移除金属氧化物的方法 [P].

杨宗翰 ;

岳诗雨 ;

汪荣军 .

美国专利 :CN120153458A ,2025-06-13

[6]

用于等离子体处理室的基于金属氧化物变阻器(MOV)的浪涌保护电路 [P].

阿里·弗罗坦保尔 ;

托马斯·李·弗雷德里克 .

美国专利 :CN119585836A ,2025-03-07

[7]

用于锂离子电池的锂过渡金属氧化物的等离子体处理 [P].

R·K·霍尔曼 ;

K·哈迪迪 ;

G·弗罗贝尔 .

中国专利 :CN113423497A ,2021-09-21

[8]

一种利用等离子体技术增强金属氧化物氧化性的方法 [P].

罗光前 ;

曾晓波 ;

张璧 ;

许洋 ;

邹仁杰 ;

周梦丽 ;

曹良 ;

孙平 ;

姚洪 .

中国专利 :CN107213884A ,2017-09-29

[9]

透明导电氧化物的等离子体沉积方式 [P].

李沅民 ;

马昕 .

中国专利 :CN101246913A ,2008-08-20

[10]

金属氧化物纳米粉末的等离子体合成及其装置 [P].

马厄·I·博洛斯 ;

杰齐·W·朱里威茨 ;

克里斯廷·A·A·M·内西姆 .

中国专利 :CN100377993C ,2006-03-08

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