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透明导电氧化物的等离子体沉积方式
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN200710004965.8
申请日：
2007-02-14
公开(公告)号：
CN101246913A
公开(公告)日：
2008-08-20
发明(设计)人：
李沅民
马昕
申请人：
申请人地址：
100086北京市海淀区中关村南大街2号数码大厦B－901北京行者多媒体科技有限公司
IPC主分类号：
H01L31075
IPC分类号：
H01L31042
H01L3118
代理机构：
代理人：
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2010-02-03 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 |
| 2008-11-26 | 地址不明的通知 | 地址不明的通知 收件人:马昕 文件名称:发明专利申请公布通知书 |
| 2010-09-08 | 文件的公告送达 | 文件的公告送达 收件人:马昕 文件名称:第一次审查意见通知书 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101007466947 IPC(主分类):H01L 31/075 专利号:无 专利申请号:2007100049658 |
| 2008-08-20 | 公开 | 公开 |
| 2011-11-09 | 发明专利申请公布后的视为撤回 | 发明专利申请公布后的视为撤回 号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101204505853 IPC(主分类):H01L 31/075 专利申请号:2007100049658 公开日:20080820 |
| 2011-05-04 | 文件的公告送达 | 文件的公告送达 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101083935181 IPC(主分类):H01L 31/075 专利号:无 专利申请号:2007100049658 收件人:马昕 文件名称:视为撤回通知书 |