一种N极性AlN/GaN外延结构及其制备方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202411748552.0
申请日
2024-12-02
公开(公告)号
CN119653801A
公开(公告)日
2025-03-18
发明(设计)人
林凡 倪健 许翔 张高俊 周均铭
申请人
埃特曼半导体技术有限公司 埃特曼(厦门)光电科技有限公司 埃特曼(浙江)半导体技术有限公司
申请人地址
361000 福建省厦门市集美区后溪镇金岭北路159-7号101室
IPC主分类号
H10D30/01
IPC分类号
H10D30/47 H10D62/824
代理机构
苏州锦尚知识产权代理事务所(普通合伙) 32502
代理人
赵然;李洋
法律状态
公开
国省代码
福建省 厦门市
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共 50 条
[1]
N极性GaN/AlGaN异质结外延结构及其制备方法 [P]. 
王文樑 ;
江弘胜 ;
李国强 ;
李林浩 ;
黄星悦 .
中国专利 :CN114242815A ,2022-03-25
[2]
一种硅衬底上N极性面高频GaN整流器外延结构及其制备方法 [P]. 
王文樑 ;
李国强 ;
李筱婵 ;
李媛 .
中国专利 :CN108010956B ,2018-05-08
[3]
基于CMP制备N极性GaN的方法、N极性GaN及其应用 [P]. 
张丽 ;
于子呈 ;
于国浩 ;
张宝顺 .
中国专利 :CN114023640A ,2022-02-08
[4]
基于CMP制备N极性GaN的方法、N极性GaN及其应用 [P]. 
张丽 ;
于子呈 ;
于国浩 ;
张宝顺 .
中国专利 :CN114023640B ,2025-09-26
[5]
一种N极性AlGaN-GaN异质结外延结构及其制备方法和应用 [P]. 
王文樑 ;
林正梁 ;
李国强 ;
林廷钧 .
中国专利 :CN117410179B ,2025-01-24
[6]
一种N极性AlGaN-GaN异质结外延结构及其制备方法和应用 [P]. 
王文樑 ;
林正梁 ;
李国强 ;
林廷钧 .
中国专利 :CN117410179A ,2024-01-16
[7]
AlN势垒层、AlN/GaN HEMT外延结构及其生长方法 [P]. 
付羿 ;
周名兵 .
中国专利 :CN111106171A ,2020-05-05
[8]
AlN势垒层、AlN/GaN HEMT外延结构及其生长方法 [P]. 
付羿 ;
周名兵 .
中国专利 :CN111106171B ,2024-03-19
[9]
一种N极性GaN基整流芯片及其制备方法和应用 [P]. 
王文樑 ;
李善杰 ;
李国强 .
中国专利 :CN115425092A ,2022-12-02
[10]
一种N极性GaN基整流芯片及其制备方法和应用 [P]. 
王文樑 ;
李善杰 ;
李国强 .
中国专利 :CN115425092B ,2025-07-08