半导体衬底以及半导体衬底的制造方法

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专利类型
发明
申请号
CN202380061285.7
申请日
2023-08-10
公开(公告)号
CN119744434A
公开(公告)日
2025-04-01
发明(设计)人
内田英次
申请人
株式会社希克斯
申请人地址
日本
IPC主分类号
H01L21/02
IPC分类号
代理机构
北京聿宏知识产权代理有限公司 11372
代理人
吴大建;霍玉娟
法律状态
专利申请权、专利权的转移
国省代码
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共 50 条
[21]
用于制造半导体器件的方法、半导体器件以及半导体衬底 [P]. 
羽中田忠浩 .
中国专利 :CN113471144A ,2021-10-01
[22]
半导体衬底的制造方法、以及半导体装置的制造方法 [P]. 
古山将树 ;
井坂史人 ;
下村明久 ;
桃纯平 .
中国专利 :CN101937861B ,2011-01-05
[23]
用于制造半导体器件的方法、半导体器件以及半导体衬底 [P]. 
羽中田忠浩 .
日本专利 :CN113471144B ,2025-06-13
[24]
半导体衬底及其制造方法,组合半导体衬底及其制造方法 [P]. 
西林良树 ;
仲前一男 .
中国专利 :CN107112205B ,2017-08-29
[25]
用于制造半导体衬底的工艺以及所获得的半导体衬底 [P]. 
F·波德特 ;
R·布兰 ;
O·勒杜 ;
E·比托 .
中国专利 :CN104067380B ,2014-09-24
[26]
半导体衬底的处理方法和半导体衬底 [P]. 
吉田佳子 ;
山口泰男 ;
成冈英树 ;
岩松俊明 ;
木村泰広 ;
平野有一 .
中国专利 :CN1223458A ,1999-07-21
[27]
半导体衬底的制备方法及半导体衬底 [P]. 
邱宇航 ;
周颖 ;
洪纪伦 ;
吴宗祐 ;
林宗贤 .
中国专利 :CN109326516A ,2019-02-12
[28]
半导体衬底的处理方法和半导体衬底 [P]. 
岩松俊明 ;
山口泰男 ;
前田茂伸 ;
一法师隆志 ;
平野有一 .
中国专利 :CN1115716C ,1999-04-14
[29]
制造半导体衬底的方法 [P]. 
佐佐木信 ;
原田真 ;
西口太郎 ;
冲田恭子 ;
并川靖生 .
中国专利 :CN102388433A ,2012-03-21
[30]
制造半导体衬底的方法 [P]. 
佐佐木信 ;
原田真 ;
西口太郎 ;
冲田恭子 ;
并川靖生 .
中国专利 :CN102388434A ,2012-03-21