共 50 条
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材料構造を改良するための処理[ja]
被引：0
申请号：
JP20240216172
申请日：
2024-12-11
公开(公告)号：
JP2025041693A
公开(公告)日：
2025-03-26
发明(设计)人：
STEVEN C H HUNG
JOHANES SWENBERG
MALCOLM BEVAN
申请人：
APPLIED MAT INC
申请人地址：
IPC主分类号：
H01L21/316
IPC分类号：
C23C16/40
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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