共 50 条
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処理対象となる被加工物を保持するための可動被加工物キャリア装置[ja]
被引：0
申请号：
JP20210566310
申请日：
2020-05-07
公开(公告)号：
JP7664853B2
公开(公告)日：
2025-04-18
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C23C14/50
IPC分类号：
C23C16/44
H01L21/683
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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