一种衬套组件及外延设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202421819258.X

申请日：

2024-07-29

公开(公告)号：

CN222923323U

公开(公告)日：

2025-05-30

发明(设计)人：

刘自强罗建

申请人：

江苏天芯微半导体设备有限公司

申请人地址：

214111 江苏省无锡市新吴区新梅路58号

IPC主分类号：

C30B25/14

IPC分类号：

C30B25/16 C23C16/455 C23C16/52

代理机构：

上海元好知识产权代理有限公司 31323

代理人：

朱成之

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省无锡市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-05-30	授权	授权

共 50 条

[1]

一种衬套组件及半导体外延设备 [P].

刘自强 ;

罗建 .

中国专利 :CN119050004A ,2024-11-29

[2]

一种衬套组件及具有该衬套组件的半导体外延设备 [P].

刘自强 ;

罗建 .

中国专利 :CN119050005A ,2024-11-29

[3]

一种旋转支撑组件及外延设备 [P].

牛建新 .

中国专利 :CN223163527U ,2025-07-29

[4]

一种反应腔室组件及外延设备 [P].

严怀余 ;

高培培 ;

杨家豪 .

中国专利 :CN222990280U ,2025-06-17

[5]

用于外延设备的支撑组件及外延设备 [P].

曹共柏 ;

潘帅 .

中国专利 :CN115458446A ,2022-12-09

[6]

一种用于外延设备的气体管路及外延设备 [P].

尹宁 ;

燕春 ;

杨进 .

中国专利 :CN216972741U ,2022-07-15

[7]

外延基座及外延设备 [P].

曹共柏 ;

潘帅 ;

俞登永 ;

张斌 .

中国专利 :CN217077861U ,2022-07-29

[8]

一种旋转装置及晶圆外延设备 [P].

黄帅帅 ;

肖蕴章 ;

钟国仿 ;

王泽桦 ;

刘亮辉 ;

杨方 ;

徐鑫 ;

经军辉 ;

刘佳明 ;

陈炳安 .

中国专利 :CN216585314U ,2022-05-24

[9]

一种外延设备 [P].

段彬 .

中国专利 :CN222332134U ,2025-01-10

[10]

一种外延设备 [P].

陈学敏 ;

赵志远 .

中国专利 :CN221379314U ,2024-07-19

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