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半导体生产设备的漏液检测装置及其半导体生产设备

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202510155788.1
申请日：
2025-02-12
公开(公告)号：
CN119984668A
公开(公告)日：
2025-05-13
发明(设计)人：
王学让 郭敬 崔丽娜
申请人：
无锡伟测半导体科技有限公司
申请人地址：
214111 江苏省无锡市新吴区新加坡工业园新达路28-12号厂房
IPC主分类号：
G01M3/16
IPC分类号：
代理机构：
上海领洋专利代理事务所(普通合伙) 31292
代理人：
罗晓鹏
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
江苏省 无锡市
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-05-30 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):G01M 3/16申请日:20250212
2025-05-13 公开 公开
共 50 条
[1]
半导体生产设备 [P]. 
吴彩庭 ;
刘欣 ;
罗骞 ;
毛朝斌 ;
孔倩茵 .
中国专利 :CN307108341S ,2022-02-11
[2]
半导体生产设备 [P]. 
邱岳金 .
中国专利 :CN113921454A ,2022-01-11
[3]
半导体生产设备 [P]. 
吴彩庭 ;
毛朝斌 ;
伍三忠 ;
孔倩茵 ;
程远贵 .
中国专利 :CN309188781S ,2025-03-21
[4]
半导体清洁装置及半导体生产设备 [P]. 
李万 ;
杨昌伟 ;
林泽阳 .
中国专利 :CN223603045U ,2025-11-28
[5]
半导体生产方法及其设备 [P]. 
陈恩浩 ;
章杏 ;
高园梦 .
中国专利 :CN117438290A ,2024-01-23
[6]
半导体生产设备及半导体工艺方法 [P]. 
不公告发明人 .
中国专利 :CN109750274A ,2019-05-14
[7]
半导体生产设备用插板阀及半导体生产设备 [P]. 
邵佳 ;
李欢 .
中国专利 :CN119289116A ,2025-01-10
[8]
半导体生产设备用插板阀及半导体生产设备 [P]. 
邵佳 ;
李欢 .
中国专利 :CN119289115A ,2025-01-10
[9]
一种半导体生产设备的对准装置及方法、半导体生产设备 [P]. 
黄栋梁 ;
杨博光 ;
王鑫鑫 ;
蔡晨 ;
冒鹏飞 .
中国专利 :CN119781266A ,2025-04-08
[10]
半导体生产设备及其控制方法 [P]. 
魏文华 ;
高正彦 .
中国专利 :CN117954297A ,2024-04-30
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