一种晶圆盒用锁紧机构及晶圆传输机

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202421589862.8

申请日：

2024-07-05

公开(公告)号：

CN222851420U

公开(公告)日：

2025-05-09

发明(设计)人：

李宁宁郝瀚杨森元

申请人：

北京京仪自动化装备技术股份有限公司

申请人地址：

102628 北京市大兴区经济技术开发区凉水河二街8号院14号楼A座

IPC主分类号：

H01L21/687

IPC分类号：

H01L21/67 H01L21/677

代理机构：

北京超凡宏宇知识产权代理有限公司 11463

代理人：

王鑫科

法律状态：

授权

国省代码：

安徽省宣城市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-05-09	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆盒用开盒机构及晶圆传输机 [P].

李宁宁 ;

杨森元 ;

郝瀚 .

中国专利 :CN222851408U ,2025-05-09

[2]

一种晶圆盒锁紧机构 [P].

洪成都 ;

林君衡 .

中国专利 :CN221262348U ,2024-07-02

[3]

晶圆传输机构及晶圆加工设备 [P].

金浩天 .

中国专利 :CN212380401U ,2021-01-19

[4]

晶圆加工传输机构及晶圆减薄机 [P].

万先进 ;

李帆 ;

尤国振 ;

朱松 ;

张怀东 ;

锁志勇 ;

袁峰 ;

边逸军 .

中国专利 :CN222514900U ,2025-02-21

[5]

晶圆传输盒 [P].

肖志坚 ;

吕秋玲 ;

杨洪春 ;

杨斌 .

中国专利 :CN201163617Y ,2008-12-10

[6]

晶圆传输机构 [P].

王剑 ;

许振杰 ;

王同庆 ;

赵德文 ;

路新春 .

中国专利 :CN208923072U ,2019-05-31

[7]

晶圆盒底盘及晶圆盒 [P].

董健 ;

陈思安 ;

张珏 ;

姚笛 .

中国专利 :CN206976306U ,2018-02-06

[8]

前开式晶圆传输盒及晶圆传送系统 [P].

曾德强 ;

刘家桦 ;

叶日铨 .

中国专利 :CN208111412U ,2018-11-16

[9]

转运晶圆用的晶圆盒 [P].

陈正茂 ;

王健 ;

孙铎 ;

魏忠亮 ;

卢红平 ;

魏冬 .

中国专利 :CN214411146U ,2021-10-15

[10]

一种晶圆对中机构、晶圆传输装置及晶圆减薄设备 [P].

刘远航 ;

马旭 ;

王江涛 ;

赵德文 .

中国专利 :CN213184246U ,2021-05-11

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