测试装置、测试设备以及测试方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510032586.8

申请日：

2025-01-09

公开(公告)号：

CN119993853A

公开(公告)日：

2025-05-13

发明(设计)人：

吴贵阳周颖达李鑫洋厉辉

申请人：

矽电半导体设备（深圳）股份有限公司

申请人地址：

518172 广东省深圳市龙岗区龙城街道黄阁坑社区龙城工业园3号厂房三楼东区、五楼中西区

IPC主分类号：

H01L21/66

IPC分类号：

H01L21/67 G01L5/00 G01B11/02 G01B21/02 G01B11/08 G01B11/12 G01B17/00 G01B21/10 G01B21/14 G01D21/02

代理机构：

广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205

代理人：

李莹洁

法律状态：

授权

国省代码：

广东省深圳市

引用

下载

共 50 条

[1]

测试装置、测试设备以及测试方法 [P].

吴贵阳 ;

周颖达 ;

李鑫洋 ;

厉辉 .

中国专利 :CN119993853B ,2025-10-17

[2]

测试方法、测试装置、测试设备以及介质 [P].

旷亚和 ;

吕博良 ;

程佩哲 ;

叶红 .

中国专利 :CN111414305A ,2020-07-14

[3]

测试装置以及测试方法 [P].

市吉清司 .

中国专利 :CN101231325B ,2008-07-30

[4]

测试装置以及测试方法 [P].

饭岛匡史 ;

木村英明 .

日本专利 :CN120265998A ,2025-07-04

[5]

测试装置以及测试方法 [P].

市吉清司 .

中国专利 :CN100432689C ,2006-04-05

[6]

测试方法以及测试装置 [P].

陈明坤 .

中国专利 :CN115495367A ,2022-12-20

[7]

测试装置及测试设备 [P].

黄亮 ;

汪兴友 ;

金圆 ;

刘龑 ;

黄龙 .

中国专利 :CN114675166A ,2022-06-28

[8]

测试装置及测试设备 [P].

黄亮 ;

汪兴友 ;

金圆 ;

刘龑 ;

黄龙 .

中国专利 :CN217213032U ,2022-08-16

[9]

测试装置、测试方法及测试设备 [P].

胡兴亿 ;

张东卫 ;

卢程显 ;

李健龙 ;

杜康 ;

陆贺身 ;

刘金全 ;

李玉辉 .

中国专利 :CN114137386B ,2024-10-18

[10]

测试装置、测试方法及测试设备 [P].

任富佳 ;

艾灵儿 ;

顾明峰 ;

周小虎 .

中国专利 :CN110132590A ,2019-08-16

← 1 2 3 4 5 →

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-10-17	授权	授权
2025-05-30	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/66申请日:20250109
2025-05-13	公开	公开