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基于深度学习使用晶圆缺陷图像对晶圆内的缺陷进行分类的方法和系统

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010831725.0
申请日：
2020-08-18
公开(公告)号：
CN113627457B
公开(公告)日：
2025-05-27
发明(设计)人：
艾萨克·丹尼尔·布扎格洛
申请人：
坎泰克有限公司
申请人地址：
以色列米格达尔哈梅克
IPC主分类号：
G06V10/764
IPC分类号：
G06V10/774 G06V10/776 G06V10/778 G06T7/00
代理机构：
北京市联德律师事务所 11361
代理人：
黄大正;张来光
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-05-27 授权 授权
共 50 条
[1]
基于深度学习使用晶圆缺陷图像对晶圆内的缺陷进行分类的方法和系统 [P]. 
艾萨克·丹尼尔·布扎格洛 .
:CN120495755A ,2025-08-15
[2]
基于深度学习使用晶圆缺陷图像对晶圆内的缺陷进行分类的方法和系统 [P]. 
艾萨克·丹尼尔·布扎格洛 .
中国专利 :CN113627457A ,2021-11-09
[3]
晶圆缺陷分类方法以及晶圆缺陷分类装置 [P]. 
吴在晚 ;
金德容 ;
吴容哲 ;
曲扬 .
中国专利 :CN115115564A ,2022-09-27
[4]
基于深度学习的无监督晶圆缺陷检测方法 [P]. 
任鲁西 .
中国专利 :CN117274148B ,2024-07-09
[5]
晶圆缺陷分类方法及晶圆缺陷分类系统、电子设备 [P]. 
颜元青 .
中国专利 :CN119418101A ,2025-02-11
[6]
深度学习模型训练和晶圆缺陷检测方法及装置 [P]. 
杜云峰 ;
易丛文 ;
夏敏 ;
管健 .
中国专利 :CN118823482A ,2024-10-22
[7]
晶圆缺陷检测方法及其装置和系统 [P]. 
陈鲁 ;
肖安七 ;
张嵩 .
中国专利 :CN117853393A ,2024-04-09
[8]
晶圆缺陷检测系统及晶圆缺陷检测方法 [P]. 
杨峰 ;
林瑶 ;
王明明 ;
韩永琪 .
中国专利 :CN120847126A ,2025-10-28
[9]
一种晶圆缺陷的查找系统和晶圆缺陷的查找方法 [P]. 
冯亚丽 .
中国专利 :CN108321096A ,2018-07-24
[10]
检测晶圆缺陷的方法和系统 [P]. 
张义东 ;
曾最新 ;
谢海波 ;
梁玲 .
中国专利 :CN108831844B ,2018-11-16
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