一种高效碳化硅产品加工装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202421432745.0

申请日：

2024-06-21

公开(公告)号：

CN222984544U

公开(公告)日：

2025-06-17

发明(设计)人：

马振备

申请人：

福建省沙县言信碳化硅新材料有限公司

申请人地址：

365503 福建省三明市沙县高桥镇新坡村199号

IPC主分类号：

B02C21/00

IPC分类号：

B02C23/02 B08B15/04

代理机构：

福州创蔚来知识产权代理有限公司 35290

代理人：

郑艳艳

法律状态：

授权

国省代码：

河南省郑州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-06-17	授权	授权

共 50 条

[1]

一种用于碳化硅晶片表面加工装置 [P].

陈宇翔 ;

翟会阳 ;

李永波 ;

李纪宏 .

中国专利 :CN221210986U ,2024-06-25

[2]

一种节能环保碳化硅加工装置 [P].

孙敬宇 ;

陆发凯 ;

李晓霞 .

中国专利 :CN223159336U ,2025-07-29

[3]

保温屏以及碳化硅加工装置 [P].

徐峰 ;

翟虎 ;

林宏达 ;

孙金梅 .

中国专利 :CN221837146U ,2024-10-15

[4]

一种碳化硅晶片加工装置 [P].

卢小东 .

中国专利 :CN214642332U ,2021-11-09

[5]

一种碳化硅衬底加工装置 [P].

王蓉 ;

王芸霞 ;

皮孝东 ;

沈典宇 ;

杨德仁 .

中国专利 :CN216663300U ,2022-06-03

[6]

一种碳化硅半导体的加工装置 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN213164671U ,2021-05-11

[7]

一种碳化硅片切片辅助加工装置 [P].

杨阳 ;

杨振华 ;

季富华 ;

管家辉 .

中国专利 :CN216992146U ,2022-07-19

[8]

一种用于碳化硅晶片表面加工装置 [P].

周杰 ;

李有群 ;

贺贤汉 ;

殷雪苑 ;

吴寒 .

中国专利 :CN218169775U ,2022-12-30

[9]

碳化硅外延生长加工装置 [P].

沈鹏远 ;

郭钰 ;

刘春俊 ;

张博 ;

彭同华 ;

杨建 .

中国专利 :CN223357829U ,2025-09-19

[10]

碳化硅环保切削加工装置 [P].

封吉圣 ;

马桥 ;

李翔 ;

刘涛 ;

陈涛 ;

李硕 ;

陈百凤 ;

张天铖 .

中国专利 :CN220428848U ,2024-02-02

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