バリア性能の向上およびビア抵抗の低減のための方法および材料[ja]

被引：0

申请号：

JP20220542966

申请日：

2021-07-20

公开(公告)号：

JP2023545224A

公开(公告)日：

2023-10-27

发明(设计)人：

申请人：

申请人地址：

IPC主分类号：

H01L21/768

IPC分类号：

C23C16/04 C23C16/34

代理机构：

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法律状态信息

共 50 条

[1]

触媒系およびその使用のための重合方法[ja] [P].

日本专利 :JP2020521024A ,2020-07-16

[2]

ＣＶＤリアクタおよびＣＶＤリアクタの洗浄方法[ja] [P].

日本专利 :JP2019530224A ,2019-10-17

[3]

選択的堆積および抵抗率低減による完全整合ビアの集積化[ja] [P].

日本专利 :JP2024518276A ,2024-05-01

[4]

低抵抗率の接点および相互接続[ja] [P].

日本专利 :JP2023527774A ,2023-06-30

[5]

水中での金属腐食を低減するためのプロセスおよび方法[ja] [P].

日本专利 :JP2021509698A ,2021-04-01

[6]

重ねレーザ溶接のための装置および方法[ja] [P].

日本专利 :JP2018505059A ,2018-02-22

[7]

基材物品および装置の特性および性能を増強するためのコーティング[ja] [P].

BRYAN C HENDRIX ;

DAVID W PETERS ;

LI WEIMIN ;

CARLO WALDFRIED ;

RICHARD A COOKE ;

NILESH GUNDA ;

LIN I-KUAN .

日本专利 :JP2024147635A ,2024-10-16

[8]

ウレタン化合物およびその製造方法、および、イソシアネートおよびその製造方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2010116871A1 ,2012-10-18

[9]

ウレタン化合物およびその製造方法、および、イソシアネートおよびその製造方法[ja] [P].

日本专利 :JPWO2010110142A1 ,2012-09-27

[10]

水素拡散係数の非破壊測定のための装置および方法[ja] [P].

日本专利 :JP2020517948A ,2020-06-18

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