共 50 条
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選択的堆積および抵抗率低減による完全整合ビアの集積化[ja]
被引：0
申请号：
JP20230562820
申请日：
2022-04-15
公开(公告)号：
JP2024518276A
公开(公告)日：
2024-05-01
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H01L21/205
IPC分类号：
C23C16/04
C23C16/26
H01L21/314
H01L21/768
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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