プラズマエッチングのためのパッシベーション化学物質[ja]

被引:0
申请号
JP20230517844
申请日
2021-09-17
公开(公告)号
JP2023542898A
公开(公告)日
2023-10-12
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
H01L21/3065
IPC分类号
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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共 50 条
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