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一种芯片生产用晶圆清洗装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202510588269.4
申请日：
2025-05-08
公开(公告)号：
CN120184060A
公开(公告)日：
2025-06-20
发明(设计)人：
吴健伟
范伟培
申请人：
深圳市凯威达电子有限公司
申请人地址：
518000 广东省深圳市宝安区新安街道留仙二路（隆昌路10号）丰业源工业厂区B1、B2栋之B1栋205室
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
H01L21/677
H01L21/683
代理机构：
深圳市君牧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 44964
代理人：
张梦迪
法律状态：
公开
国省代码：
广东省
深圳市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-06-20 | 公开 | 公开 |
| 2025-07-08 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/67申请日:20250508 |