共 50 条
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基板研磨方法及び基板研磨装置[ja]
被引：0
申请号：
JP20230204613
申请日：
2023-12-04
公开(公告)号：
JP2025089768A
公开(公告)日：
2025-06-16
发明(设计)人：
KABASAWA MASASHI
YAGI KEITA
申请人：
EBARA CORP
申请人地址：
IPC主分类号：
B24B53/00
IPC分类号：
B24B37/10
B24B49/10
B24B49/18
B24B53/017
H01L21/304
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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