一种用于半导体设备的密封圈、维护方法和维护设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410009712.3

申请日：

2024-01-02

公开(公告)号：

CN120251710A

公开(公告)日：

2025-07-04

发明(设计)人：

周维吴正鹏耿若辰

申请人：

格科半导体（上海）有限公司

申请人地址：

201306 上海市浦东新区自由贸易试验区临港新片区新元南路198号

IPC主分类号：

F16J15/10

IPC分类号：

F16J15/3284 F16J15/3296 B29C53/16 B29C53/84 B29L31/26

代理机构：

上海元好知识产权代理有限公司 31323

代理人：

汤恩洋;张静洁

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

上海市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-07-22	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):F16J 15/10申请日:20240102
2025-07-04	公开	公开

共 50 条

[1]

用于半导体设备维护的小车 [P].

顾荣剑 ;

李文涛 .

中国专利 :CN120463126A ,2025-08-12

[2]

一种密封内衬、半导体设备平台及维护方法 [P].

杨永雷 ;

刘自强 ;

秦志坚 ;

尹宁 .

中国专利 :CN115404470A ,2022-11-29

[3]

一种半导体设备用密封圈的模具组件 [P].

许烨纶 .

中国专利 :CN119159759A ,2024-12-20

[4]

半导体设备的维护装置 [P].

张涛 .

中国专利 :CN112427435A ,2021-03-02

[5]

一种易于维护的半导体设备 [P].

张毅屏 .

中国专利 :CN213660383U ,2021-07-09

[6]

一种用于半导体设备的隔绝维护装置 [P].

舒思桅 .

中国专利 :CN217915423U ,2022-11-29

[7]

密封圈及半导体真空设备 [P].

孙虎 .

中国专利 :CN214063773U ,2021-08-27

[8]

密封圈、工艺腔室和半导体处理设备 [P].

张君 .

中国专利 :CN207073577U ,2018-03-06

[9]

一种密封圈、半导体制造用真空阀门及半导体设备 [P].

祁丹丹 ;

罗家宏 .

中国专利 :CN211259627U ,2020-08-14

[10]

一种半导体设备维护系统及方法 [P].

程长青 ;

蔡俊郎 .

中国专利 :CN112226733A ,2021-01-15

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