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一种半导体设备维护系统及方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201910557948.X
申请日：
2019-06-26
公开(公告)号：
CN112226733A
公开(公告)日：
2021-01-15
发明(设计)人：
程长青
蔡俊郎
申请人：
申请人地址：
230012 安徽省合肥市新站区合肥综合保税区内西淝河路88号
IPC主分类号：
C23C1430
IPC分类号：
C23C1454
代理机构：
上海光华专利事务所(普通合伙) 31219
代理人：
王华英
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-02-02 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/30 申请日:20190626 |
| 2021-01-15 | 公开 | 公开 |