共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
半导体设备及半导体设备净化方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201910888242.1
申请日：
2019-09-19
公开(公告)号：
CN112530831B
公开(公告)日：
2021-03-19
发明(设计)人：
徐笵植
徐康元
申请人：
申请人地址：
266000 山东省青岛市黄岛区太白山路172号青岛中德生态园双创中心219室
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
H01L2102
代理机构：
深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334
代理人：
彭辉剑;龚慧惠
法律状态：
公开
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-03-19 | 公开 | 公开 |
| 2021-04-06 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20190919 |
| 2022-12-30 | 授权 | 授权 |