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电子束直写系统和芯片生产系统
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202510385170.4
申请日：
2025-03-28
公开(公告)号：
CN120215217A
公开(公告)日：
2025-06-27
发明(设计)人：
周友华
张顺德
吴华强
申请人：
上海清华国际创新中心
清华大学
申请人地址：
200062 上海市普陀区同普路602号2号楼1楼
IPC主分类号：
G03F7/20
IPC分类号：
H01L21/67
H01L21/68
H01J37/317
H01L21/027
B81C1/00
G03F9/00
代理机构：
北京励诚知识产权代理有限公司 11647
代理人：
刘雅婷
法律状态：
公开
国省代码：
北京市
市辖区
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-06-27 | 公开 | 公开 |
| 2025-07-15 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/20申请日:20250328 |