对中检测装置和应用于晶圆加热盘的对中装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202111632288.0

申请日：

2021-12-28

公开(公告)号：

CN114334771B

公开(公告)日：

2025-07-04

发明(设计)人：

黄明策吴凤丽谭华强

申请人：

拓荆科技股份有限公司

申请人地址：

110171 辽宁省沈阳市浑南区水家900号

IPC主分类号：

H01L21/68

IPC分类号：

H01L21/67

代理机构：

北京超凡宏宇知识产权代理有限公司 11463

代理人：

方晓燕

法律状态：

授权

国省代码：

辽宁省沈阳市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-07-04	授权	授权

共 50 条

[1]

对中检测装置和应用于晶圆加热盘的对中装置 [P].

黄明策 ;

吴凤丽 ;

谭华强 .

中国专利 :CN114334771A ,2022-04-12

[2]

晶圆对中装置 [P].

郭振 ;

王小锋 .

中国专利 :CN223181111U ,2025-08-01

[3]

晶圆对中装置 [P].

边晓东 ;

马雪婷 ;

刘豫东 ;

刘建民 ;

王洪建 .

中国专利 :CN112635380A ,2021-04-09

[4]

晶圆对中检测装置 [P].

林世权 ;

刘全益 ;

胡敬祥 .

中国专利 :CN218160288U ,2022-12-27

[5]

晶圆对中方法及对中装置 [P].

万先进 ;

肖儒良 ;

何红秀 ;

卢文 ;

黄骏 ;

尤国振 ;

锁志勇 .

中国专利 :CN120497189A ,2025-08-15

[6]

晶圆对中装置及方法 [P].

夏子奂 ;

王秋瑾 .

中国专利 :CN121237715A ,2025-12-30

[7]

晶圆寻边对中装置 [P].

万先进 ;

钱宇强 ;

张怀东 ;

田鑫 ;

朱松 ;

边逸军 .

中国专利 :CN221379328U ,2024-07-19

[8]

一种晶圆对中装置及晶圆对中方法 [P].

郝斌荣 ;

陈胜华 ;

李朋 ;

周开祥 ;

杜开禧 .

中国专利 :CN118629930B ,2025-01-24

[9]

一种晶圆对中装置及晶圆对中方法 [P].

郝斌荣 ;

陈胜华 ;

李朋 ;

周开祥 ;

杜开禧 .

中国专利 :CN118629930A ,2024-09-10

[10]

对中机的对中装置 [P].

董雅林 .

中国专利 :CN204980533U ,2016-01-20

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