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一种半导体检测用CHUCK盘
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202411817996.5
申请日：
2024-12-11
公开(公告)号：
CN119694936B
公开(公告)日：
2025-07-18
发明(设计)人：
韩纪东
申请人：
东腾创新（深圳）科技有限公司
申请人地址：
518000 广东省深圳市龙华区大浪街道浪口社区英泰南方明珠工业园3栋1层
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
H01L21/683
代理机构：
北京凯谦巨邦专利代理有限公司 32303
代理人：
李厅
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-03-25 | 公开 | 公开 |
| 2025-07-18 | 授权 | 授权 |
| 2025-04-11 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/67申请日:20241211 |