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一种半导体检测用高精度Chuck吸盘
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202422759605.0
申请日：
2024-11-13
公开(公告)号：
CN223575568U
公开(公告)日：
2025-11-21
发明(设计)人：
张亚琼
申请人：
东腾创新（深圳）科技有限公司
申请人地址：
518000 广东省深圳市龙华区大浪街道浪口社区英泰南方明珠工业园3栋1层
IPC主分类号：
B65G47/90
IPC分类号：
代理机构：
北京凯谦巨邦专利代理有限公司 32303
代理人：
单梦雪
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-11-21 | 授权 | 授权 |