学术探索
学术期刊
学术作者
新闻热点
数据分析
智能评审

有機蒸気によるフォトレジストの現像[ja]

被引：0
申请号：
JP20250073845
申请日：
2025-04-28
公开(公告)号：
JP2025107246A
公开(公告)日：
2025-07-17
发明(设计)人：
DICTUS DRIES WU CHENGHAO ERIC CALVIN HANSEN TIMOTHY WILLIAM WEIDMAN
申请人：
LAM RES CORP
申请人地址：
IPC主分类号：
H01L21/027
IPC分类号：
G03F7/20 G03F7/36
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
共 50 条
[1]
有機蒸気によるフォトレジストの現像[ja] [P]. 
日本专利 :JP2023551893A ,2023-12-13
[2]
ハロゲン化化学物質によるフォトレジスト現像[ja] [P]. 
日本专利 :JP2022538040A ,2022-08-31
[3]
ハロゲン化化学物質によるフォトレジスト現像[ja] [P]. 
SAMANTHA SIAMHWA TAN ;
YU JENGYI ;
LI DA ;
FAN YIWEN ;
PAN YANG ;
MARKS JEFFEREY ;
RICHARD A GOTTSCHO ;
DANIEL PETER ;
TIMOTHY WILLIAM WEIDMAN ;
BORIS VOLOSSKIY ;
YANG WENBING .
日本专利 :JP2024133561A ,2024-10-02
[4]
ハロゲン化化学物質によるフォトレジスト現像[ja] [P]. 
日本专利 :JP2025166041A ,2025-11-05
[5]
ハロゲン化化学物質によるフォトレジスト現像[ja] [P]. 
SAMANTHA SIAMHWA TAN ;
YU JENGYI ;
LI DA ;
FAN YIWEN ;
PAN YANG ;
MARKS JEFFEREY ;
RICHARD A GOTTSCHO ;
DANIEL PETER ;
TIMOTHY WILLIAM WEIDMAN ;
BORIS VOLOSSKIY ;
YANG WENBING .
日本专利 :JP2025087800A ,2025-06-10
[6]
ハイブリッド有機スズ酸化物フォトレジストの現像[ja] [P]. 
日本专利 :JP2024546812A ,2024-12-26
[7]
フォトレジスト組成物[ja] [P]. 
SCOTT LEWIS ;
RICHARD WINPENNY ;
STEPHEN YEATES ;
FERNANDEZ ANTONIO .
日本专利 :JP2022184876A ,2022-12-13
[8]
金属含有フォトレジストのリワーク[ja] [P]. 
日本专利 :JP2024530605A ,2024-08-23
[9]
エッチストップ阻止のための金属酸化物ベースのフォトレジストの周期的現像[ja] [P]. 
日本专利 :JP2025503365A ,2025-02-04
[10]
エッチストップ阻止のための金属酸化物ベースのフォトレジストの周期的現像[ja] [P]. 
日本专利 :JP2025157284A ,2025-10-15
12345