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SOI晶圆的制备方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202510486761.0
申请日：
2025-04-17
公开(公告)号：
CN120341171A
公开(公告)日：
2025-07-18
发明(设计)人：
向晓
张雅荣
周平华
徐洪涛
张卫民
李炜
申请人：
上海新傲芯翼科技有限公司
申请人地址：
201815 上海市嘉定区新徕路168号2幢1楼
IPC主分类号：
H01L21/762
IPC分类号：
H01L21/02
代理机构：
上海思捷知识产权代理有限公司 31295
代理人：
闫学文
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-08-05 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/762申请日:20250417 |
| 2025-07-18 | 公开 | 公开 |