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新型化学增幅正性光致抗蚀剂组合物及其制备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202310692140.9
申请日：
2023-06-12
公开(公告)号：
CN119126491B
公开(公告)日：
2025-08-05
发明(设计)人：
郑学刚
申请人：
上海艾深斯科技有限公司
申请人地址：
201600 上海市松江区佘山镇吉业路399号
IPC主分类号：
G03F7/039
IPC分类号：
G03F7/004
代理机构：
中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038
代理人：
杨立芳
法律状态：
公开
国省代码：
上海市
市辖区
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-12-13 | 公开 | 公开 |
| 2025-08-05 | 授权 | 授权 |
| 2024-12-31 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/039申请日:20230612 |