一种掩膜版存放盒扫描装置及光刻机

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202422280386.8

申请日：

2024-09-18

公开(公告)号：

CN223123362U

公开(公告)日：

2025-07-18

发明(设计)人：

张琪符友银芦志明

申请人：

新毅东（北京）科技有限公司

申请人地址：

100176 北京市大兴区北京经济技术开发区荣昌东街甲5号3号楼1层101-8

IPC主分类号：

G03F1/66

IPC分类号：

G03F7/20 G06K7/10 B65G47/90

代理机构：

北京超凡宏宇知识产权代理有限公司 11463

代理人：

崔熠

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-07-18	授权	授权

共 50 条

[1]

一种掩膜版存放盒开盖机构及光刻机 [P].

张琪 ;

符友银 ;

芦志明 .

中国专利 :CN223051635U ,2025-07-01

[2]

掩膜版上版装置及光刻机 [P].

叶小龙 ;

刘宇琪 .

中国专利 :CN215376087U ,2021-12-31

[3]

光刻机掩膜版盒的智能存取装置 [P].

牛立久 ;

张雪奎 ;

刘增增 ;

周一雷 ;

徐金鑫 .

中国专利 :CN216647080U ,2022-05-31

[4]

掩膜版传送装置及光刻机 [P].

张琪 ;

符友银 ;

芦志明 .

中国专利 :CN119717408B ,2025-11-11

[5]

掩膜版传送装置及光刻机 [P].

张琪 ;

符友银 ;

芦志明 .

中国专利 :CN119717408A ,2025-03-28

[6]

一种光刻机掩膜版盒的储存柜 [P].

牛立久 ;

张雪奎 ;

刘增增 ;

周一雷 ;

徐金鑫 .

中国专利 :CN216469320U ,2022-05-10

[7]

一种光刻机的掩膜版降温装置 [P].

滕飞 .

中国专利 :CN203745795U ,2014-07-30

[8]

光刻机检测用掩膜版 [P].

李伟峰 .

中国专利 :CN106292175A ,2017-01-04

[9]

光刻机的掩膜版冷却系统 [P].

骆建钢 ;

徐晓敏 .

中国专利 :CN210776182U ,2020-06-16

[10]

光刻机掩膜版对准系统 [P].

张琪 ;

符友银 ;

张曼妮 .

中国专利 :CN119395954A ,2025-02-07

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