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激光干涉仪及分光装置

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202510313889.7
申请日：
2025-03-17
公开(公告)号：
CN120669250A
公开(公告)日：
2025-09-19
发明(设计)人：
山田耕平 松本哲郎 牧克彦
申请人：
精工爱普生株式会社
申请人地址：
日本东京
IPC主分类号：
G01S17/08
IPC分类号：
G01S17/58 G01S7/48 G01S7/495 G01S7/481 G01B11/02
代理机构：
北京康信知识产权代理有限责任公司 11240
代理人：
纪秀凤
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-10-10 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):G01S 17/08申请日:20250317
2025-09-19 公开 公开
共 50 条
[1]
激光干涉仪 [P]. 
山田耕平 ;
清水武士 .
日本专利 :CN117705262A ,2024-03-15
[2]
激光干涉仪 [P]. 
山田耕平 ;
松尾敦司 .
日本专利 :CN118111549A ,2024-05-31
[3]
激光干涉仪 [P]. 
山田耕平 ;
清水武士 .
中国专利 :CN115406481A ,2022-11-29
[4]
激光干涉仪 [P]. 
山田耕平 ;
清水武士 .
日本专利 :CN114111998B ,2024-02-06
[5]
激光干涉仪 [P]. 
山田耕平 ;
清水武士 .
中国专利 :CN114111998A ,2022-03-01
[6]
激光干涉仪以及激光干涉仪的控制方法 [P]. 
山田耕平 .
日本专利 :CN114112000B ,2024-01-16
[7]
激光干涉仪以及激光干涉仪的控制方法 [P]. 
山田耕平 .
中国专利 :CN114112000A ,2022-03-01
[8]
激光干涉仪 [P]. 
北川润 .
中国专利 :CN114111999A ,2022-03-01
[9]
激光干涉仪 [P]. 
山田耕平 .
日本专利 :CN114964352B ,2024-01-16
[10]
光调制器、激光干涉仪以及分光装置 [P]. 
山田耕平 .
日本专利 :CN120176821A ,2025-06-20
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