一种等离子体激活装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202422066236.7

申请日：

2024-08-26

公开(公告)号：

CN223347738U

公开(公告)日：

2025-09-16

发明(设计)人：

张宇丁飞王启东金仁喜杨宇东张浩苑朋朋

申请人：

中国科学院微电子研究所

申请人地址：

100029 北京市朝阳区北土城西路3号

IPC主分类号：

H01L21/67

IPC分类号：

H01L21/683 H01J37/32

代理机构：

北京天达知识产权代理事务所有限公司 11386

代理人：

张同玲

法律状态：

授权

国省代码：

北京市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-09-16	授权	授权

共 50 条

[1]

等离子体种子激活装置 [P].

张波 ;

邵汉良 ;

姚宏 ;

张洪光 ;

欧阳文韬 .

中国专利 :CN207011238U ,2018-02-16

[2]

一种等离子体激活掺杂装置 [P].

徐万劲 ;

秦国刚 ;

肖池阶 ;

侯瑞祥 ;

杨肖易 ;

李艳平 .

中国专利 :CN108461373A ,2018-08-28

[3]

一种等离子体装置 [P].

韦刚 ;

苏恒毅 ;

杨京 .

中国专利 :CN108878242B ,2018-11-23

[4]

等离子体掺杂装置及等离子体掺杂方法 [P].

田中胜 ;

栗山仁 ;

室冈博树 .

中国专利 :CN102339737B ,2012-02-01

[5]

等离子体产生组件及等离子体处理装置 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN210984687U ,2020-07-10

[6]

等离子体约束装置及等离子体处理装置 [P].

傅时梁 ;

杨金全 ;

王枫 .

中国专利 :CN212461598U ,2021-02-02

[7]

等离子体供给装置 [P].

T·雷蒂希 .

中国专利 :CN202930354U ,2013-05-08

[8]

等离子体沉积装置 [P].

孟杰 ;

胡广严 ;

吴孝哲 ;

吴龙江 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN208949405U ,2019-06-07

[9]

等离子体种子激活装置及种子激活的方法 [P].

张波 ;

邵汉良 ;

姚宏 ;

张洪光 ;

欧阳文韬 .

中国专利 :CN107306536A ,2017-11-03

[10]

一种等离子体刀头及等离子体发生装置 [P].

杨欣灵 ;

龚平涛 .

中国专利 :CN209731676U ,2019-12-03

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