等离子体沉积装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201821512063.5

申请日：

2018-09-14

公开(公告)号：

CN208949405U

公开(公告)日：

2019-06-07

发明(设计)人：

孟杰胡广严吴孝哲吴龙江林宗贤

申请人：

申请人地址：

223300 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号

IPC主分类号：

C23C1652

IPC分类号：

C23C16505 C23C1454

代理机构：

上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294

代理人：

孙佳胤;陈丽丽

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-06-07	授权	授权

共 50 条

[1]

等离子体沉积装置 [P].

董海青 ;

申鹏 .

中国专利 :CN211497785U ,2020-09-15

[2]

等离子体薄膜沉积装置 [P].

叶继春 ;

邬苏东 ;

高平奇 ;

杨映虎 ;

韩灿 .

中国专利 :CN203999809U ,2014-12-10

[3]

等离子体沉积装置 [P].

许明洙 ;

高锡珍 ;

高东均 ;

金民洙 ;

金圣哲 ;

卢喆来 ;

李秉春 .

中国专利 :CN107083542A ,2017-08-22

[4]

等离子体沉积 [P].

盖·詹姆斯·雷诺兹 ;

康纳·尼古拉斯·马丁 ;

彼得·格洛瓦茨基 ;

玛丽-皮埃尔·弗朗索瓦兹·温特伯特埃普富凯 ;

萨蒂亚纳拉扬·巴利克 ;

帕特里克·坡-曾·陈 .

中国专利 :CN102395704B ,2012-03-28

[5]

等离子体装置和等离子体沉积设备 [P].

李翔 ;

种展鹏 ;

袁红霞 ;

王娟 ;

姚俊 .

中国专利 :CN119943637B ,2025-11-04

[6]

等离子体装置和等离子体沉积设备 [P].

李翔 ;

种展鹏 ;

袁红霞 ;

王娟 ;

姚俊 .

中国专利 :CN119943637A ,2025-05-06

[7]

等离子体沉积方法和等离子体沉积设备 [P].

山本薰 ;

金昌炫 ;

宋伣在 ;

申建旭 ;

申铉振 ;

安星柱 ;

李章熙 ;

李昌锡 ;

全基荣 ;

郑根吾 .

中国专利 :CN110880447A ,2020-03-13

[8]

等离子体沉积方法和等离子体沉积设备 [P].

山本薰 ;

金昌炫 ;

宋伣在 ;

申建旭 ;

申铉振 ;

安星柱 ;

李章熙 ;

李昌锡 ;

全基荣 ;

郑根吾 .

韩国专利 :CN110880447B ,2024-04-09

[9]

等离子体沉积用夹具 [P].

董海青 ;

申鹏 .

中国专利 :CN211522316U ,2020-09-18

[10]

等离子体沉积方法 [P].

沙林达·维克拉姆·辛格 ;

理查德·安东尼·莱昂纳 .

中国专利 :CN109072425A ,2018-12-21

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