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等离子体沉积方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201780028635.4
申请日：
2017-03-06
公开(公告)号：
CN109072425A
公开(公告)日：
2018-12-21
发明(设计)人：
沙林达·维克拉姆·辛格 理查德·安东尼·莱昂纳
申请人：
申请人地址：
英国伦敦
IPC主分类号：
C23C1630
IPC分类号：
C23C1644 C23C16505 H01J3732
代理机构：
北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205
代理人：
彭雪瑞;臧建明
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2019-03-12 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/30 申请日:20170306
2018-12-21 公开 公开
2021-01-29 发明专利申请公布后的视为撤回 发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C23C 16/30 申请公布日:20181221
共 50 条
[1]
等离子体沉积方法和等离子体沉积设备 [P]. 
山本薰 ;
金昌炫 ;
宋伣在 ;
申建旭 ;
申铉振 ;
安星柱 ;
李章熙 ;
李昌锡 ;
全基荣 ;
郑根吾 .
中国专利 :CN110880447A ,2020-03-13
[2]
等离子体沉积方法和等离子体沉积设备 [P]. 
山本薰 ;
金昌炫 ;
宋伣在 ;
申建旭 ;
申铉振 ;
安星柱 ;
李章熙 ;
李昌锡 ;
全基荣 ;
郑根吾 .
韩国专利 :CN110880447B ,2024-04-09
[3]
等离子体沉积 [P]. 
盖·詹姆斯·雷诺兹 ;
康纳·尼古拉斯·马丁 ;
彼得·格洛瓦茨基 ;
玛丽-皮埃尔·弗朗索瓦兹·温特伯特埃普富凯 ;
萨蒂亚纳拉扬·巴利克 ;
帕特里克·坡-曾·陈 .
中国专利 :CN102395704B ,2012-03-28
[4]
等离子体装置和等离子体沉积设备 [P]. 
李翔 ;
种展鹏 ;
袁红霞 ;
王娟 ;
姚俊 .
中国专利 :CN119943637B ,2025-11-04
[5]
等离子体装置和等离子体沉积设备 [P]. 
李翔 ;
种展鹏 ;
袁红霞 ;
王娟 ;
姚俊 .
中国专利 :CN119943637A ,2025-05-06
[6]
等离子体沉积装置 [P]. 
孟杰 ;
胡广严 ;
吴孝哲 ;
吴龙江 ;
林宗贤 .
中国专利 :CN208949405U ,2019-06-07
[7]
等离子体沉积装置 [P]. 
董海青 ;
申鹏 .
中国专利 :CN211497785U ,2020-09-15
[8]
等离子体沉积装置 [P]. 
许明洙 ;
高锡珍 ;
高东均 ;
金民洙 ;
金圣哲 ;
卢喆来 ;
李秉春 .
中国专利 :CN107083542A ,2017-08-22
[9]
等离子体沉积设备 [P]. 
斯蒂芬·理查德·库尔森 ;
查尔斯·埃德蒙·金 .
中国专利 :CN101743071A ,2010-06-16
[10]
热蒸发等离子体沉积 [P]. 
M.伦达尔 .
中国专利 :CN114616355A ,2022-06-10
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