等离子体沉积装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202020160485.1

申请日：

2020-02-10

公开(公告)号：

CN211497785U

公开(公告)日：

2020-09-15

发明(设计)人：

董海青申鹏

申请人：

申请人地址：

518100 广东省深圳市宝安区航城街道钟屋社区钟屋工业区梅洲五洲电路板厂101号47栋

IPC主分类号：

C23C16455

IPC分类号：

C23C1652

代理机构：

无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260

代理人：

汪建华

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-09-15	授权	授权

共 50 条

[1]

等离子体薄膜沉积装置 [P].

叶继春 ;

邬苏东 ;

高平奇 ;

杨映虎 ;

韩灿 .

中国专利 :CN203999809U ,2014-12-10

[2]

等离子体薄膜沉积装置及沉积方法 [P].

叶继春 ;

邬苏东 ;

高平奇 ;

杨映虎 ;

韩灿 .

中国专利 :CN104152869A ,2014-11-19

[3]

等离子体沉积装置 [P].

孟杰 ;

胡广严 ;

吴孝哲 ;

吴龙江 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN208949405U ,2019-06-07

[4]

等离子体沉积装置 [P].

许明洙 ;

高锡珍 ;

高东均 ;

金民洙 ;

金圣哲 ;

卢喆来 ;

李秉春 .

中国专利 :CN107083542A ,2017-08-22

[5]

等离子体沉积 [P].

盖·詹姆斯·雷诺兹 ;

康纳·尼古拉斯·马丁 ;

彼得·格洛瓦茨基 ;

玛丽-皮埃尔·弗朗索瓦兹·温特伯特埃普富凯 ;

萨蒂亚纳拉扬·巴利克 ;

帕特里克·坡-曾·陈 .

中国专利 :CN102395704B ,2012-03-28

[6]

等离子体装置和等离子体沉积设备 [P].

李翔 ;

种展鹏 ;

袁红霞 ;

王娟 ;

姚俊 .

中国专利 :CN119943637B ,2025-11-04

[7]

等离子体装置和等离子体沉积设备 [P].

李翔 ;

种展鹏 ;

袁红霞 ;

王娟 ;

姚俊 .

中国专利 :CN119943637A ,2025-05-06

[8]

等离子体沉积方法和等离子体沉积设备 [P].

山本薰 ;

金昌炫 ;

宋伣在 ;

申建旭 ;

申铉振 ;

安星柱 ;

李章熙 ;

李昌锡 ;

全基荣 ;

郑根吾 .

中国专利 :CN110880447A ,2020-03-13

[9]

等离子体沉积方法和等离子体沉积设备 [P].

山本薰 ;

金昌炫 ;

宋伣在 ;

申建旭 ;

申铉振 ;

安星柱 ;

李章熙 ;

李昌锡 ;

全基荣 ;

郑根吾 .

韩国专利 :CN110880447B ,2024-04-09

[10]

等离子体沉积用夹具 [P].

董海青 ;

申鹏 .

中国专利 :CN211522316U ,2020-09-18

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